UPC-2000L CO2发泡机

CO2发泡机适用于半导体晶圆切割工序,它是通过渗入CO2,使水的电阻率降价(达到0.2MΩ.cm).从而消除水中的静电,达到保护wafer的作用。

 

产品优势:

 

1、精准的电阻率控制能力,可将电阻率控制在±0.1MΩ.cm.

2、增加了电阻率自动调节系统.

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